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特气系统知识分享|特种气体存放及使用

发布时间:2022-10-19 | 游览:116

内容摘要:特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部分是腐蚀性、毒性、燃烧性的气体。

特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部分是腐蚀性、毒性、燃烧性的气体。

针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体,通常设计将钢瓶置于特气柜(Gas Cabinet)内,再通过管道将气体供应至现场附近的阀门箱(VMB, Valve Manifold Box),而后再进入制程机台的使用点(POU, Point of Use),于进入机台腔体之前,会有独立的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制模块联机,以质流流量计控制器(MFC, Mass Flow Controller)进行流量之控制与进气的混合比例控制,通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴,而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀门盘(VMP, Valve Manifold Panel)进行供应。

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